微機(jī)械電子系統(tǒng)及期應(yīng)用（第2版）

定　價(jià)：￥28.00

作　者：	劉廣玉，樊尚春，周浩敏著
出版社：	北京航空航天大學(xué)出版社
叢編項(xiàng)：
標(biāo)　簽：	工學(xué) 教材研究生/本科/專(zhuān)科教材

購(gòu)買(mǎi)這本書(shū)可以去

ISBN：	9787512414518	出版時(shí)間：	2015-02-01	包裝：	平裝
開(kāi)本：	16開(kāi)	頁(yè)數(shù)：	195	字?jǐn)?shù)：

內(nèi)容簡(jiǎn)介

微機(jī)械電子系統(tǒng)及期應(yīng)用（第2版）在第一版的基礎(chǔ)上，結(jié)合近年相關(guān)專(zhuān)業(yè)技術(shù)、理論的最新發(fā)展和編者近幾年研究工作的成果，主要介紹當(dāng)今微機(jī)電系統(tǒng)的內(nèi)容、應(yīng)用及其發(fā)展，內(nèi)容包括微機(jī)電系統(tǒng)的組成和應(yīng)用、微機(jī)電系統(tǒng)材料、微機(jī)械制造技術(shù)、微機(jī)械執(zhí)行器、微機(jī)械傳感器及微機(jī)械弱信號(hào)檢測(cè)與處理。
　　全書(shū)內(nèi)容豐富、圖文恰當(dāng)、新穎實(shí)用，可作為普通高校大學(xué)本科高年級(jí)大學(xué)生和有關(guān)專(zhuān)業(yè)研究生的教材，也可供從事MEMS/NEMS技術(shù)的科技人員參考。

作者簡(jiǎn)介

暫缺《微機(jī)械電子系統(tǒng)及期應(yīng)用（第2版）》作者簡(jiǎn)介

圖書(shū)目錄

第1章微機(jī)電系統(tǒng)的組成和應(yīng)用1
1.1引言1
1.2微機(jī)電系統(tǒng)的特征2
1.3微機(jī)電系統(tǒng)的材料和制造技術(shù)3
1.4微機(jī)電系統(tǒng)的測(cè)量技術(shù)4
1.5微機(jī)電系統(tǒng)的應(yīng)用5
1.5.1在航空航天方面的應(yīng)用6
1.5.2在生物醫(yī)學(xué)方面的應(yīng)用8
1.5.3在微流量系統(tǒng)方面的應(yīng)用10
1.5.4在掃描探針顯微術(shù)方面的應(yīng)用11
1.5.5在信息科學(xué)方面的應(yīng)用12
1.5.6在微光學(xué)方面的應(yīng)用12
1.6結(jié)語(yǔ)15
思考題15
第2章微機(jī)電系統(tǒng)材料16
2.1概述16
2.2硅及其化合物材料17
2.2.1單晶硅17
2.2.2多晶硅19
2.2.3硅藍(lán)寶石23
2.2.4碳化硅24
2.2.5氧化硅和氮化硅25
2.3化合物半導(dǎo)體材料25
2.4光導(dǎo)纖維26
2.5熔凝石英27
2.6金剛石材料27
2.7壓電材料28
2.7.1壓電效應(yīng)（電致伸縮效應(yīng)）28
2.7.2壓電石英晶體28
2.7.3壓電陶瓷30
2.7.4聚偏二氟乙烯薄膜31
2.7.5ZnO壓電薄膜33
2.7.6壓電自感知驅(qū)動(dòng)器34
2.8磁致伸縮材料35
2.9形狀記憶合金36
2.10膨脹合金37
2.10.1鐵鎳低膨脹系數(shù)合金（4J36）37
2.10.2鐵、鎳、鈷玻璃封接合金（4J29）37
2.10.3鐵、鎳、鈷瓷封合金（4J33）37
2.11幾種通用金屬材料38
2.12超導(dǎo)材料38
2.13納米相材料39
思考題40
第3章微機(jī)械制造技術(shù)41
3.1概述41
3.2硅微機(jī)械制造技術(shù)41
3.2.1表面微加工技術(shù)42
3.2.2體型微加工技術(shù)53
3.3LIGA技術(shù)和SLIGA技術(shù)65
3.3.1LIGA技術(shù)65
3.3.2SLIGA技術(shù)66
3.4固相鍵合技術(shù)67
3.4.1技術(shù)要求67
3.4.2鍵合方法71
3.5特種加工技術(shù)77
3.5.1激光加工技術(shù)77
3.5.2電子束加工技術(shù)78
3.6納米結(jié)構(gòu)（器件）制造工藝方法簡(jiǎn)述78
3.6.1引言78
3.6.2納米結(jié)構(gòu)新工藝技術(shù)探討78
思考題80
第4章微機(jī)械執(zhí)行器81
4.1概述81
4.2微電機(jī)81
4.2.1靜電力驅(qū)動(dòng)變電容式微電機(jī)81
4.2.2靜電驅(qū)動(dòng)諧波式微電機(jī)86
4.2.3電懸浮微電機(jī)87
4.3微泵和微閥91
4.3.1微流量控制系統(tǒng)91
4.3.2微型泵91
4.4梳狀微諧振器107
4.4.1梳狀微諧振器的結(jié)構(gòu)和工作原理107
4.4.2諧振梳彈性系統(tǒng)的固有頻率109
思考題111
第5章微機(jī)械硅電容式傳感器114
5.1概述114
5.2集成式硅電容壓力傳感器115
5.2.1原理結(jié)構(gòu)115
5.2.2方膜片的小撓度近似計(jì)算116
5.2.3檢測(cè)電路117
5.2.4硅電容式集成壓力傳感器的接口電路118
5.3力平衡式硅電容加速度傳感器124
5.3.1擺式結(jié)構(gòu)脈寬調(diào)制靜電力平衡式加速度傳感器124
5.3.2梳齒結(jié)構(gòu)靜電力平衡式加速度傳感器126
5.4電子隧道效應(yīng)加速度傳感器128
5.4.1電子隧道效應(yīng)128
5.4.2力平衡式隧道加速度傳感器129
思考題136
第6章微機(jī)械硅諧振式傳感器138
6.1概述138
6.2硅諧振式傳感器的物理機(jī)制139
6.2.1測(cè)量原理139
6.2.2品質(zhì)因數(shù)140
6.2.3諧振梁的微分方程144
6.3激勵(lì)和檢測(cè)機(jī)制146
6.3.1靜電激勵(lì)與電容檢測(cè)146
6.3.2電熱激勵(lì)與壓敏電阻檢測(cè)148
6.3.3光熱激勵(lì)與光纖檢測(cè)149
6.3.4電磁激勵(lì)與檢測(cè)149
6.3.5壓電激勵(lì)與檢測(cè)149
6.4硅諧振式傳感器151
6.4.1硅諧振梁式壓力傳感器151
6.4.2硅諧振式加速度傳感器158
6.4.3硅諧振式角速率傳感器162
6.4.4諧振式碳納米管質(zhì)量傳感器171
思考題174
第7章微機(jī)械弱信號(hào)檢測(cè)與處理175
7.1概述175
7.2微弱信號(hào)檢測(cè)技術(shù)176
7.2.1濾波技術(shù)176
7.2.2開(kāi)關(guān)電容技術(shù)180
7.2.3頻域信號(hào)的相關(guān)檢測(cè)技術(shù)181
7.2.4鎖相環(huán)理論185
7.2.5時(shí)域信號(hào)的取樣平均技術(shù)193
7.2.6抗干擾的技術(shù)措施194
思考題195
參考文獻(xiàn)196